碳化硅衬底切磨抛耗材整体解决方案

概要:

详情

工艺	推荐产品				应用场景
滚圆	切削液	S450B			配合滚圆和倒角的切削加工
切割	切割油	SCCS-803			配合刚线切割晶棒
研磨	研磨液	COLAP-632、633、833、834、835	研磨垫	PUN-88	单晶粗磨液配合铸铁盘使用精磨研磨液与研磨垫搭配使用
抛光	抛光液	COPOL-233、234、235、236	抛光垫	NWS-85	衬底粗抛、精抛
				NWS-90/NWS-85	粗抛衬底
		COPOL-131、132、133和134
				NWS-80或NWS-85	精抛衬底C面或Si面
		COPOL-431
				NWS-85/PUN-50D	一步抛光硅面和碳面
		COPOL-136
				DPN-50W	精抛衬底Si面
	吸附垫	各型号吸附垫			单面抛光时，无蜡吸附