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发布时间:2024-01-12 16:03:24

 

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液态蜡

液态蜡

液态蜡
产品描述

主要用于硅晶圆的单面化学机械抛光的临时粘接
● 适合上蜡机对晶圆进行均匀上蜡
● 表面均匀,拉力强劲,满足高平坦度、高精度的要求
● 下蜡便捷,加工后可用醇类溶剂清洗
● 我司液态蜡产品剪切强度与市面上同类型产品相当,上机连续抛光10小时后晶圆粘接牢固、无气泡、无进液;
● 我司产品上蜡后满足硅片生产过程中高平坦度、高精度、易操作、易清洗的要求;

市售产品3016*、LW-1203、LW-1205、LW-1308

四种产品剪切强度对比

四种产品平均膜厚对比

 

参数

LW-1203

LW-1205

LW-1308

市售产品3016*

固含量,%

20-22

20-22

30-32

30-32

粘度, cP

5.9±2

5.4±2

8.7±2

6±2

比重,g/cm3

0.84±0.02

0.84±0.02

0.86±0.02

0.86±0.02

上蜡条件

温度120℃,时间60-90秒

下蜡方式

使用刮刀轻轻铲除

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