通常被使用于粗磨或中磨。
应用领域：
半导体晶圆，蓝宝石，光学镜片，金属等材料CMP。
定制服务：
硬度、尺寸、沟槽等可按需求定制。公司成立于2021年12月31日，地位于浙江省衢州市春城路15号205室，经营范围包括一般项目：电子专用材料研发；新材料技术研发等。">

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发布时间：2024-01-12 16:03:24

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无纺布抛光垫

无纺布抛光垫是一款毛毡状的抛光垫，能磨出一定程度的平坦性和平滑性，性能处于聚氨酯抛光垫和阻尼布抛光垫的中间位置。
通常被使用于粗磨或中磨。
应用领域：
半导体晶圆，蓝宝石，光学镜片，金属等材料CMP。
定制服务：
硬度、尺寸、沟槽等可按需求定制。

产品描述

NWS-85	NWS-60	NWS-70
• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫 • 耐氧化性优异，不掉毛，速率保持稳定 • 适用于碳化硅的粗抛工艺	• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫 • 硬度、密度较低，在低压力下去除前道工序中的划痕 • 适用于硅片衬底的中抛工艺	• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫 • 圆环内侧可切缺口便于贴合环形机台 • 适用于硅片衬底的边抛工艺
NWD-80	NWD-90	更多产品请联系我们
• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫 • 出色的平整度，在中等压力下实现高去除速率 • 适用于硅片衬底的粗抛和中抛工艺	• 由无纺布浸渍聚氨酯树脂后得到的复合抛光垫 • 出色的平整度，在高压力下全寿命周期内保持高去除速率 • 适用于硅片衬底的粗抛工艺	更多产品请联系我们